특허 및 인증
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벤처기업확인서
혁신성장유형
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인정서
아이티팜(주) 기업부설연구소
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특허증
웨이퍼 이미지를 AI 데이터화하여 표면 상태 및 잔여물 불량을 검출하는 장치 및 그 방법
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특허증
AI 이미지 처리 기술을 이용한 SEM 이미지 분석을 통해 반도체 제조 공정의 이상을 검출하는 장치 및 그 방법
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특허증
웨이퍼의 소잉 각도 정합성을 계산하고 판정하는 방법 및 이를 수행하는 시스템
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저작권등록증
반도체 미니 자동창고(Stocker) 제어 시스템 [iStocker]
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저작권등록증
반도체 후공정 무인운반차(AGV) 콘트롤 시스템 [iACS]
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저작권등록증
반도체 소재(BareWafer) 품질관리 시스템 (iBMS)
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저작권등록증
평판디스플레이(FPD) 품질관리 시스템 [iQMS]