SOLUTIONS
DMA
품질 분석 & 모니터링
DMA
Defect Metrology Analysis
개요
반도체/소재가공 장비 업체 혹은 고객사와의 협업을 통해 Wafer레벨의 불량분석 및 타 시스템 연동, 불량 감시를 통해 고객의 안정적인 수율 향상 및 유지에 기여하는 System을 제공합니다.
주요 기능
- 장비 Data를 자동으로 I/F (수집 및 전송)
- Inspection & Metrology 데이터 표준화
- 각종 Target system으로 전송 자동화
- Integrate all defect data in FAB (Inspection, Review, 2차 연산 데이터 + ETC)
- Defect 및 Image에 대한 개별 속성들을 DB화 하여 FAB내 다양한 데이터와 연계분석이 가능
- 기능에 따른 주제별 다양한 Summary 데이터 관리
- Monitoring inspection & metrology data
- 현재 진행중인 검사 데이터 및 Review 데이터에 대한 모니터링
RMS
품질 분석 & 모니터링
RMS
Recipe Management System
개요
Recipe 통합 관리를 통하여 Recipe 등록 오작업으로 인한 설비 이슈를 최소화합니다. 작업자 업무 Load 감소, Recipe 변경 점에 대한 이력관리가 가능하도록 지원하며 공정별 Recipe 관리를 통한 통합, 자동 운용환경 구축, UI 측면의 노하우를 최대한 활용하여, 엔지니어 및 작업자가 손쉽게 사용할 수 있는 시스템입니다.
주요기능
- 레시피 버전 관리
- 레시피 배포/편집
- 설비/기준 레시피간 변경 점 추출
- 배포 및 파트 권한 관리
TIMS
품질 분석 & 모니터링
TIMS
Total Inspection Management System
개요
공정 데이터 이력 Trace를 통한 지속적인 품질 개선/수율 향상을 위해품질 정보의 수집/저장/분석/관리를 위한 품질관리 System을 제공하며 설비 데이터의 표준화와 가용성 확보, 외주 협력사의 품질 정보 통합 관리를 통해 사전 관리에 중점을 두어 품질을 안정화 합니다.
주요 기능
- 설비 관리 : 사이트 및 설비 타입별로 공정 지수를 관리하는 체계를 구축합니다. 가동, 비가동, 순간정지, 알람, MCR 등의 상황을 실시간으로 관리합니다.
- 공정 관리 : 각 사이트와 설비 타입별로 공정 구성을 관리하는 체계를 마련합니다. 레시피에 대한 통합 관리와 더불어 현황 및 이력 관리 체계를 운영합니다.
- 품질 분석 : 설비의 품질 요소에 대한 현황 분석 체계를 개발합니다. 사이트 및 설비 타입별로 Cell 이력 관리를 통해 품질을 분석하는 체계를 갖춥니다.
- 모니터링 : 해외 및 외주 협력사 대상으로 시스템 운영 환경을 모니터링합니다. 설비 품질 데이터의 수집 상태를 지속적으로 모니터링합니다.